1噸/小時電子廠超純水設備是專為中小型電子制造車間、半導體封裝測試廠設計的高精度制水系統(tǒng)，以“強化預處理-雙級RO反滲透-EDI深度除鹽-終端超純化”為核心工藝鏈，整合抗污染與低微粒控制技術，可穩(wěn)定產(chǎn)出電阻率≥18.2MΩ・cm@25℃、總溶解固體（TDS）≤0.05ppm、微粒（≥0.1μm）≤1個/ml的超純水，滿足電子行業(yè)JEDECJESD22-A114等標準對芯片清洗、PCB顯影等環(huán)節(jié)的嚴苛水質要求。設備以1噸/小時的持續(xù)產(chǎn)水能力適配電子廠間歇式生產(chǎn)特性，通過低污染設計與智能化微粒監(jiān)控，為電子元件的精密制造提供高穩(wěn)定性水質保障。
一、核心工藝架構與電子行業(yè)專屬設計
在工業(yè)超純水設備基礎上，針對電子廠水源特點與水質需求進行專項優(yōu)化：
（一）預處理系統(tǒng)：低污染與微粒控制強化
多介質過濾單元：φ500mm304不銹鋼濾罐（內壁電解拋光Ra≤1.6μm），內裝600mm厚級配濾料（下層3-5mm石英砂+上層0.8-1.2mm無煙煤），運行流速12m/h，通過梯度過濾去除懸浮物至濁度≤0.1NTU，SDI（污染指數(shù)）控制在≤3，為后續(xù)RO系統(tǒng)提供更嚴格的前置保護。自動反沖洗采用“水反沖+氣擦洗+水正沖”三段式程序（反洗強度12L/(m²・s)），確保濾料再生效率≥98%，減少反洗殘留污染。
活性炭吸附單元：φ400mm304不銹鋼濾罐，填充碘值≥1000mg/g的椰殼活性炭（粒徑1.0-2.0mm），運行流速10m/h，特異性吸附余氯（≤0.01mg/L）、TOC（去除率≥80%）及重金屬（如Cu²⁺、Ni²⁺≤0.01ppm），避免氯對RO膜的氧化及重金屬對電子元件的電化學腐蝕。采用單罐+備用濾芯組合設計，活性炭更換周期4-6個月，通過在線TOC監(jiān)測儀（檢測限1ppb）聯(lián)動提示更換，確保有機物去除效果穩(wěn)定。
軟化處理單元：φ400mm304不銹鋼離子交換柱，裝填核級001×7MB陽離子交換樹脂（交換量≥1.3eq/L），將原水硬度（以CaCO₃計）降至≤0.1ppm，防止RO膜結垢與后續(xù)管道產(chǎn)生鈣鎂沉積。采用流量-硬度-時間三參數(shù)控制再生（產(chǎn)水達30噸或出水硬度＞0.05ppm時啟動），再生液為10%電子級NaCl溶液，避免工業(yè)級鹽中的雜質污染樹脂。
保安過濾：30英寸精密過濾器（304不銹鋼外殼），內置0.45μm聚醚砜（PES）折疊濾芯（3支并聯(lián)），作為RO膜的一道防護，濾芯每兩周更換一次，通過在線微粒計數(shù)器（檢測范圍0.1-5μm）實時監(jiān)控過濾效果，確保進入RO系統(tǒng)的微粒數(shù)≤100個/ml。
（二）雙級RO反滲透系統(tǒng)：深度脫鹽與低污染運行
一級RO單元：采用3支抗污染型RO膜元件（3支串聯(lián)，型號SW30HR-4040），單支膜面積400ft²，設計脫鹽率≥99.5%。運行壓力1.6±0.1MPa，水溫控制在25±1℃（配備恒溫換熱器），產(chǎn)水量1.8m³/h。濃水（約1.2m³/h）經(jīng)壓力回收裝置回收能量后排放，系統(tǒng)能耗降低15%。
二級RO單元：配置2支電子級低壓高脫鹽膜（2支串聯(lián)），產(chǎn)水量1.2噸/小時。二級RO產(chǎn)水電導率≤0.5μS/cm，通過在線電導率儀（精度±0.05μS/cm）與溫度補償系統(tǒng)聯(lián)動，確保數(shù)據(jù)準確性，超標時自動啟動循環(huán)凈化程序（循環(huán)路徑避開產(chǎn)水水箱，避免污染）。
智能清洗系統(tǒng)：集成300LPP清洗箱（內壁光滑無死角）與衛(wèi)生級清洗泵（316L葉輪），支持酸洗（0.5%檸檬酸+0.1%還原劑，pH3-4）與堿洗（0.1%NaOH+0.05%表面活性劑，pH10-11），清洗程序針對電子廠水源中常見的有機物污染優(yōu)化，清洗周期延長至4-6個月，清洗后需檢測TOC≤5ppb方可恢復運行。
（三）EDI深度除鹽單元
采用1臺IONPURE™VNX-25模塊（電子級），產(chǎn)水1.1噸/小時，在直流電場（0-500V可調）作用下，通過樹脂與選擇性膜的協(xié)同作
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