刻蝕機(jī)電路板維修 

概述:NMC ICP反應(yīng)離子刻蝕機(jī)射頻電源維修/匹配器維修/電路板維修,公司為半導(dǎo)體工廠,液晶面板工廠等提AE,MKS(ENI),DAIHEN,AD-TEC,KYOSAN,RFPP SEREN ANELVA COMDEL等各品牌射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各

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NMC ICP反應(yīng)離子刻蝕機(jī)射頻電源維修/匹配器維修/電路板維修,公司為半導(dǎo)體工廠,液晶面板工廠等提AE,MKS(ENI),DAIHEN,AD-TEC,KYOSAN,RFPP SEREN ANELVA COMDEL等各品牌射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導(dǎo)體設(shè)備維修

工業(yè)電源維修范圍:AE電源維修,美國(guó)MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE電源維修,AE電鍍電源維修,AE射頻電源維修,電鍍高頻電源維修,刻蝕射頻電源維修,RE射頻電源維修,PECVD射頻電源維修,大功率工業(yè)電源維修,UPS電源維修等各行業(yè)工業(yè)用電源維修

射頻電源設(shè)備維修:刻蝕,RIE,PECVD,ICP,射頻濺射,CVD和PVD等系統(tǒng)

直流電源

  1、LAMDBA ESS/EMI直流電2、Delta ELEKTRONIKA直流電源3、SORENSEN直流電4、AMETEK可編程電源5、POWER TEN直流電源

  6、燈絲電源、X射線電源7、曝光燈電源USHIO

高壓電源

      1、HiTek Power supply高壓電源 2、ADVANCE HIVOLT高壓電源 3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高壓電源

      4、GLASSMAN高壓電源  5、SPELLMAN高壓電源  6、Varian高壓電源  7、其他品牌

RF MATCH(射頻電源匹配)1、ADVANCED ENERGY射頻電源匹配2、ASTEX射頻電源匹配3、NP(NEW POWER PLASMA)射頻電源匹配

 4、ASTECH射頻電源匹配5、SEREN射頻電源匹配6、LAM射頻電源匹配7、KYOSAN射頻電源匹配8、ENI射頻電源匹配9、DAIHEN射頻電源匹配10、AMAT射頻電源匹配11、TRAZAR射頻電源匹配



凡經(jīng)本公司維修過(guò)的設(shè)備均使用原裝器件跟換其穩(wěn)定性,修復(fù)過(guò)的設(shè)備經(jīng)過(guò)本公司的測(cè)試平臺(tái)帶負(fù)載測(cè)試,電路板的關(guān)鍵部位均做絕緣噴漆處理,電路上老化的元器件(濾波電容,散熱器,風(fēng)扇等)均跟換或重新做散熱處理,設(shè)備使用中的穩(wěn)定性與可靠性。

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