投影光刻機 光刻機 芯片光刻機 元器件光刻機 光刻膠測試
概述：實驗室光刻機 光柵光刻機 集成電路光刻機 光刻設備 光刻機器
HWGK0133X-18紫外線光刻箱，配備電子電源，無級調光，主要用于光刻膠測試，中小規模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和小批量生產測試。無紫外線泄露，保護人體不受紫外線傷害的UV光刻箱，自動旋轉托盤，多角度平行光照射，無照射盲區。
設備組成
UV光源+光刻箱+自動轉盤+電源控制器
采用模塊型設計
采用模塊型設計，可手持、固定、箱式使用。
UV燈頭
包含一個長壽命的高壓汞燈，發射出UVA（300-400nm），主光強度分布均勻。燈泡壽命為1000小時。
UV光刻箱
設備包含光刻箱，帶有箱門，開關方便，在元件的光刻過程中，能夠保護用戶免受紫外輻射。
內置遮光型手動快門（工作時無紫外線泄露）
設備集成可伸縮遮光型手動快門，確保光刻的優良重復性，保護用戶開關光刻箱門時免受紫外輻射。
可調速自動旋轉托盤
設備集成可調速自動旋轉托盤，光刻效果更好,更徹底。
無級變光(光強可調）
燈管發光強度可以40%~100%，無級調節燈光強度，特別適合科研和工業生產。
反光內壁
光刻箱內有反光的內壁結構以及優化設計的反光鏡，達到均勻照射效果。
強制風冷系統
光源、電源、光刻箱都集成冷卻風扇，使得系統在散熱良好的環境工作，增加了系統可靠性。
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類別 |
項 目 |
參 數 |
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尺寸 |
外型尺寸（L×W×H） |
615×415×615mm |
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光刻箱內（L×W×H） |
330×345×330mm |
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燈管 |
燈管名稱 |
高壓汞燈 |
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功率 |
450~1700W 無級調光 |
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極限功率密度 |
<250mw/cm2 |
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波峰值 |
365nm |
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曝光面積： |
≥φ150mm |
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旋轉托盤 |
功率 |
10W |
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低速度 |
1圈/分鐘 |
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高速度 |
6圈/分鐘 |
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箱內托盤 |
360度旋轉，速度可調 |
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電源 |
電源需求 |
220V |
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整機功率 |
1800W |
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重量 |
光刻箱體 |
29KG |
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電源箱 |
4KG |
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燈箱 |
5KG |
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總重量 |
38KG |
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