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應用：
氬氣時目前應用最廣的惰性氣體。用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、冶煉、切割、焊接等。
物理特性:
氬氣的性質非常穩定，既不能燃燒，也不助燃。氬氣在工業和機械制造部門往往被作為焊接保護氣，防止焊接件被空氣氧化或氮化。在空氣中含有的0.932%的氬氣，沸點在氧氣、氮氣之間，在分離氧氣、氮氣的同時，將氬氣分離出來進一步提純，也可得到氬氣。氬本身無毒，但在高濃度時有窒息作用。當空氣中氬氣濃度高于33%時就有窒息的危險。當氬氣濃度超過50%時，出現嚴重癥狀，濃度達到75%以上時，能在數分鐘內死亡。液氬可以傷皮膚，眼部接觸可引起炎癥。
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