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氬氣Ar |
工業氬 |
Ar≥99.99%，O2≤10PPm，N2≤70PPm，H2O≤20PPm |
參照純氬標準 |
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純氬 |
Ar≥99.99%，O2≤10PPm，H2≤5PPm，N2≤40PPm，H2O≤10PPm，C H4≤5PPm，CO≤5PPm，CO2≤10PPm |
GB/T4842-2006 |
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高純氬 |
Ar≥99.999%，O2≤1.5PPm，H2≤0.5PPm ，N2≤4PPm，H2O≤3PPm，(C H4+CO+CO2) ≤1PPm |
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液體氬 |
指標與同等級的氣態氬相同（液態氣不規定水分指標） |
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