全氟橡膠ED密封圈 

全氟橡膠ED密封圈（FFKM）類似聚四氟乙烯（PTFE）材料，全氟橡膠具有優異耐化學性和耐高溫性。普通全氟橡膠ED密封圈工作溫度為-250℃,特殊全氟橡膠ED密封圈溫度可達300℃。

優點：耐熱性極好，優異的抗化學特性；缺點：耐低溫較差，原料價格偏高，生產難度比較大。全氟橡膠ED密封圈廣泛地運用于半導體產業及信息相關產業所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。